云在上半导体等申请应用于半导体废气处理设备的废气反应腔体专利，可进行腔室壁以及加热器壁上脏污刮除实现清洁_电池问答

云在上半导体等申请应用于半导体废气处理设备的废气反应腔体专利，可进行腔室壁以及加热器壁上脏污刮除实现清洁

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2025-07-15 10:40:52

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金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市云在上半导体材料有限公司、湖南湘芯新材料有限公司申请一项名为“应用于半导体废气处理设备的废气反应腔体”的专利，公开号CN120313061A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明提供了应用于半导体废气处理设备的废气反应腔体，包括腔壳；腔壳沿轴心设置有腔室；还包括：上封盘，上封盘固定封堵至腔室顶部，上封盘中部固定接有延伸至腔室内的固定座，固定座的底部固定安装有位于腔室轴心处的加热器；活动盘，活动盘设置上封盘下方；活动盘的内部设置有内外径均可增减调节的环形刀，可使环形刀的内刀刃与加热器周面贴合或分离以及可使环形刀的外刀刃与腔室壁贴合或分离；升降部，升降部通过安装架固定安装至上封盘顶面，升降部与活动盘连接。通过活动盘、环形刀以及升降部的设置，在废气燃烧后，升降部驱动活动盘在腔室内进行竖向移动，通过其上的环形刀可进行腔室壁以及加热器壁上脏污的刮除，实现清洁。

天眼查资料显示，深圳市云在上半导体材料有限公司，成立于2023年，位于深圳市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市云在上半导体材料有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息1条，专利信息19条，此外企业还拥有行政许可2个。

湖南湘芯新材料有限公司，成立于2024年，位于娄底市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本9800万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南湘芯新材料有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息13条，此外企业还拥有行政许可4个。

来源：金融界

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