华虹半导体申请半导体器件及其制备方法专利,实现客户省版的需求
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2025-07-12 20:38:08
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金融界2025年7月12日消息,国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司;华虹半导体制造(无锡)有限公司申请一项名为“半导体器件及其制备方法”的专利,公开号CN120299994A,申请日期为2025年03月。

专利摘要显示,本申请提供一种半导体器件及其制备方法,其中在制备方法中,在刻蚀阻挡层表面形成第一层间介质层、第二层间介质层和抗反射层作为新的钝化层,本申请以抗反射层作为顶层阻挡层进行接触孔的刻蚀,这样可以保证等离子体不会同时轰击顶层金属层和第二层间介质层,避免刻蚀接触孔的过程中形成干法刻蚀和湿法刻蚀/清洗都难以清除的螯合物的情况,也不会额外增加光罩,实现了客户省版的需求,同时也满足量产要求,提高了芯片封装可靠性。

天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2926次,专利信息1710条,此外企业还拥有行政许可117个。

华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目373次,专利信息38条,此外企业还拥有行政许可226个。

来源:金融界

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