中芯国际申请半导体结构的形成方法专利,提高了半导体制程的效率
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2026-07-25 05:39:12
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国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构的形成方法”的专利,公开号CN122458765A,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,一种半导体结构的形成方法,包括:提供第一硅基片、第二硅基片和第三硅基片;对第一硅基片进行热氧化处理,形成第一绝缘氧化层以及第二绝缘氧化层;向第一硅基片内注入离子,形成第一顶层硅、第二顶层硅、以及位于第一顶层硅和第二顶层硅之间的牺牲层;采用键合工艺,将第一硅基片的第一表面分别与第二硅基片与第三硅基片进行键合;去除牺牲层至暴露出第一顶层硅表面和第二顶层硅表面,第一顶层硅、第一绝缘氧化层以及第二硅基片构成第一绝缘体上硅衬底,第二顶层硅、第二绝缘氧化层以及第三硅基片构成第二绝缘体上硅衬底。本发明实现了在一次热氧化处理、离子注入以及键合的过程后,形成两个绝缘体上硅衬底,提高了半导体制程的效率。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,成立于2002年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本100000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目49次,专利信息8208条,此外企业还拥有行政许可231个。

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目120次,财产线索方面有商标信息234条,专利信息15065条,此外企业还拥有行政许可486个。

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来源:市场资讯

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