中芯国际申请一种半导体结构的刻蚀方法、半导体结构及半导体器件专利，提高刻蚀精度
创始人
2025-07-18 14:08:33
0次
金融界2025年7月18日消息，国家知识产权局信息显示，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司申请一项名为“一种半导体结构的刻蚀方法、半导体结构及半导体器件”的专利，公开号CN120341113A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种半导体结构的刻蚀方法、半导体结构及半导体器件。通过先提供一初始半导体结构；所述初始半导体结构包括层叠的衬底结构和图形化的硬掩膜；在所述图形化的硬掩膜的表面形成第一保护层，后续依次基于第一功率参数、第二功率参数和第三功率参数下的等离子体对所述初始半导体结构进行循环刻蚀，直至达到预设刻蚀深度，去除硬掩膜，得到半导体结构；所述第一功率参数、所述第二功率参数和所述第三功率参数中的射频功率依次减少，偏置功率依次增加；且所述等离子体能够在所述第一功率参数下与所述第一保护层的材料反应生成第二保护层。从而可以提高刻蚀精度，减少桥连缺陷。
天眼查资料显示，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析，中芯国际集成电路制造（上海）有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目127次，财产线索方面有商标信息150条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可451个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
中韩半导体ETF、科创半导体设...
9月7日，年初至今市场行情高度集中于半导体硬科技赛道，相关ETF实现大幅收益。中韩半导体ETF华泰柏...
宝宝揉眼睛打哈欠你才哄？晚了！...
来，经历过以下场景的妈妈们举个手 宝宝明明揉眼睛、打哈欠，困得不行了，可一放到床上就哭闹不止、拼命...
美亚光电：截至8月底公司股东数...
证券之星消息，美亚光电(002690)09月07日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者：...
原创 普...
近日，俄罗斯能源部长齐维列夫在东方经济论坛上宣布，原名为“西伯利亚力量2号”的天然气管道将更名为“贝...
联讯仪器：公司拟启动高速光电混...
9月7日， 联讯仪器（688808.SH）发布投资者关系活动记录表。其中指出，公司全面布局CPO前沿...
商务部：深化AI电商创新应用，...
商务部电子商务和信息化司负责人王鹏飞9月7日在国新办举行的新闻发布会上表示，商务部将会同相关部门，统...
旭化成微电子将参展SENSOR...
（全球TMT 2026年09月07日讯）2026年9月16日至18日，旭化成微电子株式会社（AKM）...
A股半导体板块单季净利率跃升至...
2026年二季度A股半导体板块盈利能力再攀高峰。数据显示，2026年二季度A股半导体板块净利率达38...
工信部：有序推进嵌入式SIM卡...
每经AI快讯，9月7日消息，工业和信息化部印发《信息通信行业发展“十五五”规划》。其中指出，推进创新...
Zeta电位分析仪：从流动电位...
一、什么是Zeta电位？为什么造纸企业必须关注它？ 在造纸湿部化学体系中，纤维、填料和各种化学添加剂...