盛美上海获得发明专利授权：“半导体基板的湿法刻蚀方法”
创始人
2025-07-22 03:39:07
0次
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体基板的湿法刻蚀方法”，专利申请号为CN201910887418.1，授权日为2025年7月22日。
专利摘要：本发明揭示了半导体基板的湿法刻蚀方法，包括：测量第n片基板上每个点的厚度前值；测量第n片基板上每个点的刻蚀后的厚度后值，计算得到第n片基板上每个点的刻蚀量，根据刻蚀量建立第n片基板的刻蚀量形貌图，刻蚀量形貌图能够反映出第n片基板上的刻蚀量分布；根据第n片基板的刻蚀量分布情况调节喷液摆臂的移动速率对第n+1片基板进行刻蚀加工。本发明根据第n片基板刻蚀前后的膜厚差值，建立刻蚀量形貌图根据第n片基板的刻蚀量分布调节第n+1片基板喷液摆臂的移动速度，以调节第n+1片基板的刻蚀量，提高基板的刻蚀均一性，提升产品的良率。
今年以来盛美上海新获得专利授权13个，较去年同期增加了225%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.29亿元，同比增18.47%。
通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了17家企业，参与招投标项目167次；财产线索方面有商标信息34条，专利信息580条；此外企业还拥有行政许可30个。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
相关内容
热门资讯
比亚迪获得发明专利授权：“变压...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示比亚迪（002594）新获得一项发明专利授权，专利名为“变压器...
雄韬电源取得高压连接器通用防呆...
金融界2025年7月22日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市雄韬电源科技股份有限公司取得一项名为“...
鼎信通讯获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示鼎信通讯（603421）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
半导体(512480)获融资买...
7月21日，沪深两融数据显示，半导体(512480)获融资买入额2.31亿元，居两市第55位，当日融...
盛美上海获得发明专利授权：“半...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导...
长虹美菱获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示长虹美菱（000521）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
东信和平获得发明专利授权：“芯...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示东信和平（002017）新获得一项发明专利授权，专利名为“芯片...
山东钢铁获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示山东钢铁（600022）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
洛凯股份获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示洛凯股份（603829）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
南网科技获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示南网科技（688248）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...