中微公司获得实用新型专利授权：“一种气体传输系统及半导体处理设备”_厂商动态

中微公司获得实用新型专利授权：“一种气体传输系统及半导体处理设备”

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2025-09-24 05:06:57

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种气体传输系统及半导体处理设备”，专利申请号为CN202422453455.0，授权日为2025年9月9日。

专利摘要：本实用新型公开一种气体传输系统及半导体处理设备，所述气体传输系统包括：多个进气管路，每个进气管路的进气端与工艺气体源连通，每个进气管路的出气端包括第一分支和多个第二分支；第一分流器，其进气端与每个进气管路的第一分支连通，其出气端通过输气管路与反应腔连通；输气管路与第一分流器的出气端的数量相同且皆为至少两个；每个进气管路的第二分支的数量与输气管路的数量相同，且每个进气管路的所述第二分支对应连通至输气管路；每个第一分支上设有第一控制阀，每个第二分支上设有第二控制阀。本实用新型中工艺气体源供应的工艺气体既可以经第一分流器通入反应腔内，也可以不经第一分流器通入反应腔内，使得工艺气体的使用更具灵活性。

今年以来中微公司新获得专利授权118个，较去年同期增加了28.26%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1539条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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