中微半导体申请半导体零部件的清洗装置及其清洗方法专利，清洗效果较好
创始人
2025-06-24 15:38:18
0次
金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“半导体零部件的清洗装置及其清洗方法”的专利，公开号CN120199698A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，一种半导体零部件的清洗装置及其清洗方法，清洗装置包括同轴的外管和内管；外管底部包括一外沿，外沿用于与半导体零部件贴合；内管套设于外管的内部，内管的外侧壁与外管的内侧壁之间形成空腔，空腔的内部与内管的内部空间连通；溶液源，通过一第一溶液输入管道与内管的内部空间连通，用于向内管的内部空间内输入溶液，溶液中溶解有气体；第一真空泵，与空腔连通，用于减小空腔内的压力，使得溶液中的部分气体逸出，在半导体零部件的表面形成高压的气液混合物，高压的气液混合物用于对半导体零部件进行清洗。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目66次，财产线索方面有商标信息76条，专利信息1490条，此外企业还拥有行政许可72个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
聚变新能申请超导线圈堆叠工艺专...
金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，聚变新能（安徽）有限公司;中国科学院合肥物质...
泰和科技股价上涨20% 半导体...
泰和科技最新股价报25.97元，较前一交易日上涨4.33元。当日开盘价为22.78元，最高触及25....
嘉楠科技宣布战略重组，终止非核...
IT之家 6 月 24 日消息，嘉楠科技今日宣布已启动战略重组，旨在聚焦其核心业务。 作为此次战略重...
法雷奥新能源汽车德国有限责任公...
金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，法雷奥新能源汽车德国有限责任公司申请一项名为...
南方电网申请一种基于嵌入式系统...
金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，中国南方电网有限责任公司申请一项名为“一种基...
中科泓泰申请自动测试电源接口电...
金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，中科泓泰电子有限公司申请一项名为“一种自动测...
茂硕电源：截至2025年6月2...
证券之星消息，茂硕电源(002660)06月23日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提...
正泰电源申请光伏绝缘阻抗检测电...
金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，上海正泰电源系统有限公司;深圳正泰电源系统有...