近日，海关总署公布的数据显示，2025年第三季度前道制造设备进口总额达到101.87亿美元，同比增长15.28%，环比增长33.15%，创下历史最高纪录。

图:各季度前道制造设备进口总额（亿美元）

（数据来源：海关总署、方正证券）

在全球半导体产业竞争加剧的背景下，不同品类设备的表现又揭示了哪些结构性变化？

前道设备需求分化

其他光刻设备：25Q3其他光刻设备进口数量为145台，同比减少10.49%，环比减少3.97%；进口单价为1916万美元，同比减少1.70%，环比增长113.39%。来自荷兰的其他光刻设备进口数量为50台，同比减少26.47%，环比增长31.58%；进口单价为5338万美元，同比增长19.69%，环比增长63.51%，为历史最高。

分步重复光刻设备：25Q3分步重复光刻设备进口数量为58台，同比减少31.76%，环比增长38.10%；进口单价为283万美元，同比增长13.12%，环比增长2.14%。

单价提升而总量下降，说明国内正在选择性引进最急需的高端光刻设备，这可能是应对特定技术瓶颈的战略选择。

CVD设备：25Q3CVD设备进口数量为557台，同比增长22.96%，环比增长31.68%，为历史最高；进口单价为346万美元，同比增长12.24%，环比减少8.22%，为历史次高，仅低于25Q2的377万美元。

PVD设备：25Q3PVD设备进口数量为131台，同比减少21.56%，环比减少3.68%；进口单价为318万美元，同比增长27.79%，环比减少1.31%。2024年以来PVD进口数量呈现逐步下降趋势，表明国产PVD设备已实现一定程度的突破。

干法刻蚀设备：25Q3干法刻蚀设备进口数量为496台，同比增长42.94%，环比增长10.47%；进口单价为429万美元，同比增长40.58%，环比增长11.74%，为历史最高。该设备量价双增且增速显著，同比、环比均保持两位数增长，说明产能扩张向先进制程倾斜。

其他刻蚀及剥离设备：2025Q3进口数量为126台，同比减少12.50%，环比增长16.67%；进口单价为203万美元，同比减少17.86%，环比减少2.40%，可能预示成熟制程相关设备市场趋于饱和，或进口替代进度快于核心设备。

离子注入：25Q3离子注入设备进口数量为138台，同比增长3.76%，环比增长12.20%；进口单价为295万美元，同比减少20.69%，环比减少4.34%。目前国内离子注入机市场被应用材料、亚舍立两家美国厂商垄断，国产化率仅约5%。

热处理设备：25Q3氧化扩散等热处理设备进口数量为377台，同比减少2.58%，环比增长34.16%；进口单价为133万美元，同比增长1.88%，环比减少3.95%。自24H2起氧化扩散等热处理设备进口数量整体呈下滑趋势，但进口单价不断走高，表明国产设备在中低端领域已占据一定份额。

扩张看刻蚀，替代看PVD

从进出口数据中可以提炼出两大核心结论：其一，以CVD（化学气相沉积）设备和干法刻蚀设备为代表，它们已成为国内产能扩张的关键“方向标”；其二，以PVD（物理气相沉积）设备、热处理设备及离子注入设备为代表，它们直观反映了国产化替代的“进度条”。

CVD与干法刻蚀设备是构建芯片微观结构（如介质层和导线沟槽）的核心工艺装备。其需求持续旺盛，直接反映出国内晶圆厂正在大规模扩产先进逻辑芯片（如28nm及以下节点）和高端存储芯片。这类工艺对薄膜沉积的复杂程度、层数以及刻蚀精度提出了更高要求，因而带动了相关设备的需求增长。

对国内设备厂商而言，这无疑是重要的市场机遇。旺盛的市场需求为国产设备提供了更多验证与产线导入机会。以中微公司、北方华创为代表的国内头部企业，在行业高景气背景下，凭借部分已达到国际水平的产品，正逐步扩大市场份额。尽管相关设备的进口规模仍在增长，但国内厂商已在这些关键领域实现了“点”上的技术突破。

（数据来源：公司年报及官网信息）

在国产设备替代方面，不同类别设备的进展存在明显差异：PVD设备替代已初见成效，热处理设备替代稳步推进，而离子注入设备则仍处于起步阶段。

具体来看，国产PVD设备在技术成熟度、运行稳定性及成本控制方面已具备较强竞争力，能够覆盖大部分成熟制程及部分先进制程需求，已实现中低端市场的大规模进口替代。目前保留的高价进口设备，主要用于国产设备尚难以满足的特定高端工艺环节。

国产热处理设备已在技术门槛较低的领域占据主导地位，促使国外厂商逐步退出该部分市场。国外企业则依靠其在高端设备方面的技术优势，维持高价位与利润空间，但整体市场份额正受到国内厂商的持续侵蚀。

（数据来源：公司年报及官网信息）

相比之下，国内离子注入机产业仍处于发展初期，技术与市场突破尚需时间积累。进口数量的微弱增长，说明下游产线仍在扩张，但新增需求目前几乎完全由国际厂商所承接，国内厂商尚未能有效切入这一市场。