格科半导体申请半导体处理设备清洁处理方法相关专利，可快速有力地将进气件的管腔内的沉积物彻底清除
创始人
2025-06-28 17:09:20
0次
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，格科半导体（上海）有限公司申请一项名为“半导体处理设备的清洁处理方法、可读存储介质及半导体处理设备”的专利，公开号CN120221362A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开了半导体处理设备的清洁处理方法、可读存储介质及半导体处理设备。所述处理方法包含：步骤S1，提供一半导体处理设备，其包含：处理腔、射频功率源、进气件及抽气泵；进气件的内壁附着有沉积物；步骤S2，在抽气泵关闭状态下，以第一流速通入处理气体，经射频功率源激发为等离子体，与沉积物发生反应，形成气态产物；步骤S3，在抽气泵打开状态下，以第二流速通入吹扫气体，吹扫排出气态产物。
天眼查资料显示，格科半导体（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本450000万人民币。通过天眼查大数据分析，格科半导体（上海）有限公司参与招投标项目21次，专利信息102条，此外企业还拥有行政许可86个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
比亚迪叫停“价格战”！7月1日...
比亚迪限时“一口价”政策进入倒计时。 6月28日，网上流传出一份关于比亚迪即将启动新购车政策的温馨提...
中国重汽济南动力申请嵌入式软件...
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，中国重汽集团济南动力有限公司申请一项名为“一...
汇辰自动化申请基于PLC输入电...
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市汇辰自动化技术有限公司申请一项名为“一...
南都电源斩获海外1.4GWh储...
日前，南都电源与印度某知名大型独立发电运营商签署储能订单，为其位于印度的一大型新能源光伏项目，供应1...
裕华电器申请电容器电极密封结构...
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，宁国市裕华电器有限公司申请一项名为“一种电容...
长江高压计量取得阻燃型开启式电...
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，许昌市长江高压计量设备有限公司取得一项名为“...
天津力神新能源申请动力电池跨接...
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，天津力神新能源科技有限公司申请一项名为“动力...
扬州泽旭电子申请半导体加工用晶...
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，扬州泽旭电子科技有限责任公司申请一项名为“一...
格科半导体申请半导体处理设备清...
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，格科半导体（上海）有限公司申请一项名为“半导...
痛心！北京一健身房1死8伤，系...
北京青年报副中心新媒体（微信号：fuzhongxin-xinmeiti）了解到，6月25日，北京市应...