盛美半导体等申请炉管设备专利 提高炉管设备的生产效率
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2025-07-01 11:09:52
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金融界2025年7月1日消息，国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司、盛帷半导体设备（上海）有限公司、盛美半导体设备韩国有限公司、清芯科技有限公司申请一项名为“炉管设备”的专利，公开号CN120231015A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种炉管设备，涉及半导体设备技术领域，其包括内管、外管、第一抽气端口和第二抽气端口，内管的内部形成工艺空间，外管套设于内管的外部，外管与内管之间存在间隙区域，内管上设置有排气口，以使工艺空间与间隙区域连通，第一抽气端口与工艺空间连通，第二抽气端口与间隙区域连通。在本发明中，第一抽气端口与工艺空间之间直接连通，第二抽气端口与间隙区域直接连通，相比单抽气端口的设计，通过第一抽气端口可以直接抽取工艺空间中的气体，通过第二抽气端口可以直接抽取内管和外管间隙区域内的气体，在工艺过程中，能够更快的排出气体，从而提高炉管设备的生产效率。
来源：金融界
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