广东科卓半导体设备申请晶圆切割机移料装置专利，提升设备运行的安全性与可靠性_厂商动态

广东科卓半导体设备申请晶圆切割机移料装置专利，提升设备运行的安全性与可靠性

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2026-01-19 13:07:46

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国家知识产权局信息显示，广东科卓半导体设备有限公司申请一项名为“一种晶圆切割机移料装置及其抓取装置”的专利，公开号CN121340483A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆输送技术领域，尤其是涉及一种晶圆切割机移料装置及其抓取装置，包括抓取支架、翻转板和吸盘机构；翻转板的两端与抓取支架之间设有翻转驱动组件；吸盘机构包括吸盘本体、吸盘阀芯、传动盘、辅助固定组件和辅助驱动组件；吸盘阀芯与吸盘本体之间设有第一气室和第二气室；吸盘阀芯底部均布有倾斜设置的气孔；吸盘阀芯与吸盘本体均设有与第一气室和各个气孔联通的高压气路；传动盘与翻转驱动组件连接；辅助固定组件与传动盘耦合；辅助驱动组件与各个辅助固定组件活动连接。本发明实现无接触吸附晶圆，以及断电时能够以“机械承托+翻转倒扣”的双重保护机制，对晶圆进行保护，提升了设备运行的安全性与可靠性。

天眼查资料显示，广东科卓半导体设备有限公司，成立于2016年，位于东莞市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1301.8884万人民币。通过天眼查大数据分析，广东科卓半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息72条，此外企业还拥有行政许可12个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业切割机投资辅助装置设备吸盘导体组件专利传动盘本体晶圆阀芯

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