广东科卓半导体设备申请晶圆切割机移料装置专利，提升设备运行的安全性与可靠性
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2026-01-19 13:07:46
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国家知识产权局信息显示，广东科卓半导体设备有限公司申请一项名为“一种晶圆切割机移料装置及其抓取装置”的专利，公开号CN121340483A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆输送技术领域，尤其是涉及一种晶圆切割机移料装置及其抓取装置，包括抓取支架、翻转板和吸盘机构；翻转板的两端与抓取支架之间设有翻转驱动组件；吸盘机构包括吸盘本体、吸盘阀芯、传动盘、辅助固定组件和辅助驱动组件；吸盘阀芯与吸盘本体之间设有第一气室和第二气室；吸盘阀芯底部均布有倾斜设置的气孔；吸盘阀芯与吸盘本体均设有与第一气室和各个气孔联通的高压气路；传动盘与翻转驱动组件连接；辅助固定组件与传动盘耦合；辅助驱动组件与各个辅助固定组件活动连接。本发明实现无接触吸附晶圆，以及断电时能够以“机械承托+翻转倒扣”的双重保护机制，对晶圆进行保护，提升了设备运行的安全性与可靠性。
天眼查资料显示，广东科卓半导体设备有限公司，成立于2016年，位于东莞市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1301.8884万人民币。通过天眼查大数据分析，广东科卓半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息72条，此外企业还拥有行政许可12个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
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