北方华创申请承载装置及半导体工艺设备专利，提高半导体工艺结果均匀性
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2025-07-04 13:39:19
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金融界2025年7月4日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120261380A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本发明提供一种承载装置及半导体工艺设备，承载装置包括承载主体和多个密封部件，承载主体用于承载晶圆，承载主体设置有多个第一孔道，第一孔道用于供可升降的支撑部件穿过，多个支撑部件能够上升伸出第一孔道支撑晶圆，或者下降缩回第一孔道内，密封部件包括密封膜，多个密封膜通过一一对应的覆盖多个第一孔道，来一一对应的密封多个第一孔道，密封膜具有预设的断裂伸长率，且断裂伸长率满足密封膜在支撑部件伸出第一孔道上升至最高状态下能够维持对第一孔道的覆盖密封。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1078次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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