触点智能申请芯片键合设备中键合面平行度的调节方法及装置专利,确保芯片键合时压力均匀分布
创始人
2026-02-11 10:48:17
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国家知识产权局信息显示,东莞触点智能装备有限公司申请一项名为“芯片键合设备中键合面平行度的调节方法及装置”的专利,公开号CN121487543A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本发明公开了一种芯片键合设备中键合面平行度的调节方法及装置,本发明在芯片键合的过程中通过一调节装置实时调节键合头的空间状态,实现芯片与载板之间键合面的平行,所述调节装置采用三个不共线且与键合头连接的轴线位移单元,通过每个所述的轴线位移单元沿Z轴方向伸缩,以带动所述的键合头改变空间状态,实现调节芯片相对载板的平行度。本发明通过调节装置中的三个轴线位移单元对键合头进行调节,从而主动调节键合头在空间的状态,实现键合面平行度的调节。另外,本发明可利用距离传感器实时反馈,实现自动校正键合面平行度,确保芯片键合时压力均匀分布。

天眼查资料显示,东莞触点智能装备有限公司,成立于2016年,位于东莞市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本3002.7728万人民币。通过天眼查大数据分析,东莞触点智能装备有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息80条,此外企业还拥有行政许可16个。

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来源:市场资讯

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