苏州方昇光电申请坩埚材料剩余质量监测方法专利，提高了坩埚内材料的剩余质量的检测精度
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2026-03-04 16:11:04
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国家知识产权局信息显示，苏州方昇光电股份有限公司申请一项名为“一种坩埚材料剩余质量的监测方法”的专利，公开号CN121592998A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请涉及蒸镀系统技术领域，特别是涉及一种坩埚材料剩余质量的监测方法。所述方法，包括：在正式蒸镀蒸发源材料之前，进行至少一次蒸镀实验，确定蒸镀实验后，蒸发源材料的消耗厚度及消耗的蒸发源材料的重量；基于所述蒸镀材料厚度及所需要的材料重量，确定单位厚度的消耗系数；在坩埚中填充预定质量的蒸发源材料，开始正式蒸镀；基于所述蒸发源材料的预定质量、消耗系数和每次蒸镀所检测得到的蒸发源材料的消耗厚度，实时确定蒸发源材料的剩余质量。本申请的坩埚材料剩余质量的监测方法，提高了坩埚内材料的剩余质量的检测精度和可靠性。
天眼查资料显示，苏州方昇光电股份有限公司，成立于2008年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1412.9335万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州方昇光电股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目96次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息84条，此外企业还拥有行政许可4个。
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来源：市场资讯
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