华芯半导体申请静电吸附装置控制方法专利，实现对干扰免疫
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2026-03-06 11:27:21
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国家知识产权局信息显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请一项名为“一种静电吸附装置及其控制方法、控制器”的专利，公开号CN121613804A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体技术领域，提供一种静电吸附装置及其控制方法、控制器，其中控制方法包括：在电源放电完成时或电源的电压极性切换完成时，检测电源的采样信号以及电源的控制信号是否存在异常；在采样信号异常时，对采样配置参数进行校验，并根据校验结果更新采样配置参数；和/或，在控制信号异常时，对控制信号进行有效性检测，并根据有效性检测结果更新控制信号。通过本申请控制方法，能够解决静电吸附装置在电压极性切换过程中因高压对地放电产生的瞬态干扰导致的信号异常问题，实现对干扰免疫。
天眼查资料显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2650万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市华芯半导体装备技术有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息14条，专利信息29条，此外企业还拥有行政许可5个。
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