北方华创申请支撑载具和半导体工艺设备专利，解决工艺管容易损坏的问题
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2026-03-17 02:49:22
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“支撑载具和半导体工艺设备”的专利，公开号CN121666012A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明公开一种支撑载具和半导体工艺设备，所公开的支撑载具应用于半导体工艺设备，用于在半导体工艺设备的工艺管内支撑承载舟，所述支撑载具包括载具本体和设于所述载具本体的支撑部，所述载具本体用于设置于所述工艺管内，所述支撑部用于支撑所述承载舟。上述方案可以解决相关技术中的半导体工艺设备存在工艺管容易损坏的问题。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1393次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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