云际芯光申请体声波滤波器晶圆级封装的制备方法专利,提升封装结构的稳定性
创始人
2026-04-13 15:18:31
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国家知识产权局信息显示,云际芯光(珠海)微电子有限公司申请一项名为“体声波滤波器晶圆级封装的制备方法及电子设备”的专利,公开号CN121843416A,申请日期为2026年2月。

专利摘要显示,本公开实施例公开了一种体声波滤波器晶圆级封装的制备方法及电子设备,通过采用深硅刻蚀工艺对盖帽晶圆进行建构,执行两次光刻及对应的深硅刻蚀,形成空腔、通孔、芯片墙体环,将盖帽晶圆的通孔与产品晶圆的芯片电极对位重合,使盖帽晶圆的芯片墙体环外侧与产品晶圆的芯片金属环外侧对准,采用金硅共晶键对盖帽晶圆的建构面与产品晶圆进行键合,对盖帽晶圆的非建构面进行减薄处理,暴露通孔及芯片墙体环,对盖帽晶圆的非建构面金属进行图形化处理,保留电极图形以及环状金属图形,不仅能够有效提升封装结构的稳定性,还能够有效增加盖帽晶圆表面的金属覆盖面积,提升导热效率,得到结构稳定、导热性能良好的体声波滤波器晶圆级封装。

天眼查资料显示,云际芯光(珠海)微电子有限公司,成立于2023年,位于珠海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1492.22558万人民币。通过天眼查大数据分析,云际芯光(珠海)微电子有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息23条,此外企业还拥有行政许可12个。

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来源:市场资讯

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