悟空净化申请半导体微环境过滤系统专利，防止粉尘颗粒物进入晶圆制造环境
创始人
2026-07-05 01:58:03
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国家知识产权局信息显示，苏州市悟空净化科技有限公司申请一项名为“一种半导体微环境过滤系统”的专利，公开号CN122321523A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造设备领域，尤其是一种半导体微环境过滤系统，包括箱体、设置于箱体中的风机，设置于箱体上靠近风机吸气端一侧的过滤单元、设置于箱体上的密封单元，以及设置于过滤单元上的防落尘单元，本发明通过框体拆装时的抽拉动作，配合牵引槽和转动轴二的作用带动连杆按照滑动槽一、滑动槽二的轨迹进行移动，从而带动封板以转动轴一为轴心转动，当框体从抵接面二中抽离时，带动封板与连通板的贴合，对进风口进行封闭，将进风口与箱体后段彻底隔离，此时即使风机仍在惰转，外部含尘气流也无法逆向进入下游管道，防止粉尘颗粒物进入晶圆制造环境中。
天眼查资料显示，苏州市悟空净化科技有限公司，成立于2018年，位于苏州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州市悟空净化科技有限公司参与招投标项目2次，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可3个。
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来源：市场资讯
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