北方华创申请半导体清洗载具和半导体清洗设备专利，解决清洗液滴落在清洗槽外壳上导致外壳受损及缩短设备整体使用寿命的问题_电池技术

北方华创申请半导体清洗载具和半导体清洗设备专利，解决清洗液滴落在清洗槽外壳上导致外壳受损及缩短设备整体使用寿命的问题

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2025-07-18 14:08:34

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金融界2025年7月18日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体清洗载具和半导体清洗设备”的专利，公开号CN120341146A，申请日期为2024年01月。

专利摘要显示，本申请公开一种半导体清洗载具和半导体清洗设备，半导体清洗载具中，所述花篮和所述接液盘均安装于所述安装座，且所述花篮可在竖直方向上相对所述安装座移动，所述接液盘具有工作位置和避让位置，且所述接液盘可相对所述安装座在工作位置与所述避让位置之间移动；在所述接液盘位于所述工作位置的情况下，所述接液盘位于所述花篮的下方；在所述接液盘位于所述避让位置的情况下，沿竖直方向，所述接液盘位于所述花篮的外侧，以避让所述花篮的升降路径。上述半导体清洗载具可以解决目前半导体清洗设备工作过程中，存在清洗液滴落在清洗槽的外壳上的情况，进而导致清洗槽的外壳受损，且缩短半导体清洗设备的整体使用寿命的问题。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1093次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

来源：金融界

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