章阁仪器取得真空测量组件及半导体处理设备专利，更换真空规时节省时间和经济成本
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2025-07-19 10:11:21
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金融界2025年7月19日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市章阁仪器有限公司取得一项名为“真空测量组件及半导体处理设备”的专利，授权公告号CN223122403U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本公开提供一种真空测量组件及半导体处理设备，至少包括：真空规；第一真空泵；以及三通管，三通管的第一管路用于与真空腔室连接，三通管的第二管路与第一真空泵连接，三通管的第三管路与真空规可拆卸连接；第一管路上设有第一阀门，第一阀门能够在真空规与第三管路进行拆装过程中处于关闭状态，第一真空泵能够在真空规与第三管路装配之后，且第一阀门处于关闭状态时对三通管的内部进行抽真空处理，第一阀门能够在第一真空泵对三通管内部进行抽真空处理后处于打开状态，真空规能够在第一阀门处于打开状态后对真空腔室内的真空度或气压进行测量。
天眼查资料显示，深圳市章阁仪器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市章阁仪器有限公司参与招投标项目24次，专利信息9条，此外企业还拥有行政许可164个。
来源：金融界
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