北方华创申请应用于半导体设备工艺控制方法及半导体设备专利，扩大工艺窗口
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2025-07-22 11:09:25
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金融界2025年7月22日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种应用于半导体设备的工艺控制方法及半导体设备”的专利，公开号CN120350363A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本申请公开了一种应用于半导体设备的工艺控制方法及半导体设备，所述工艺控制方法包括：在进行等离子体启辉时，控制第一射频电源在第一扫频范围内扫频，并通过第一匹配器对第一射频电源匹配第一线圈实现启辉所需要的第一匹配频率；获取第一匹配频率；控制第二射频电源在第三扫频范围内扫频，并通过第二匹配器对第二射频电源匹配第二线圈实现启辉所需要的第二匹配频率；其中，第三扫频范围为第二扫频范围去除第一匹配频率后的范围，第二匹配频率不等于第一匹配频率。由于整个启辉过程只是第二射频电源跳过了第一匹配频率，可以充分利用第一射频电源和第二射频电源本身的扫频范围，不需要人为缩小射频电源的扫频范围，因此本申请可以扩大工艺窗口。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1094次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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