北方华创申请应用于半导体设备工艺控制方法及半导体设备专利，扩大工艺窗口
创始人
2025-07-22 11:09:25
0次
金融界2025年7月22日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种应用于半导体设备的工艺控制方法及半导体设备”的专利，公开号CN120350363A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本申请公开了一种应用于半导体设备的工艺控制方法及半导体设备，所述工艺控制方法包括：在进行等离子体启辉时，控制第一射频电源在第一扫频范围内扫频，并通过第一匹配器对第一射频电源匹配第一线圈实现启辉所需要的第一匹配频率；获取第一匹配频率；控制第二射频电源在第三扫频范围内扫频，并通过第二匹配器对第二射频电源匹配第二线圈实现启辉所需要的第二匹配频率；其中，第三扫频范围为第二扫频范围去除第一匹配频率后的范围，第二匹配频率不等于第一匹配频率。由于整个启辉过程只是第二射频电源跳过了第一匹配频率，可以充分利用第一射频电源和第二射频电源本身的扫频范围，不需要人为缩小射频电源的扫频范围，因此本申请可以扩大工艺窗口。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1094次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
上一篇：什么是智能电位采集仪
相关内容
热门资讯
电科芯片：射频开关、低噪声放大...
电科芯片发布异动公告，公司股票于2026年1月9日、1月12日及1月13日连续三个交易日收盘价格涨幅...
山东信为智控申请一体磁传感智能...
国家知识产权局信息显示，山东信为智控矿山科技有限公司申请一项名为“一体磁传感智能报警围岩移动传感器的...
我国自研原位传感器完成验证，可...
IT之家 1 月 13 日消息，据新华社报道，近日，中国在深海观测领域取得了重大突破。由中国科学院西...
华微电子取得片内时钟网络延时测...
国家知识产权局信息显示，成都华微电子科技股份有限公司取得一项名为“片内时钟网络延时测试方法和测试电路...
聚瑞电气取得同时具备气压和电容...
国家知识产权局信息显示，东莞市聚瑞电气技术有限公司取得一项名为“一种同时具备气压探测功能和电容探测功...
深夜赶路签约 零跑腿服务3亿级...
“没想到工作人员冒着严寒深夜赶路，凌晨抵达南京就马不停蹄筹备签约，这份诚意让我们彻底打消了顾虑！”江...
扬州君韬电子取得多规格电子元件...
国家知识产权局信息显示，扬州君韬电子科技有限公司取得一项名为“一种多规格的电子元件加工用检测夹具”的...
为什么电源制造离不开高精度电源...
在电子制造、新能源、汽车电子等高精尖产业中，“电源点胶机”已成为保障产品可靠性与生产效率的关键设备。...
上汽大众申请基于制动能量回收的...
国家知识产权局信息显示，上汽大众汽车有限公司申请一项名为“基于制动能量回收的电池加热控制方法及系统”...
江苏丽隽功率半导体取得半导体激...
国家知识产权局信息显示，江苏丽隽功率半导体有限公司取得一项名为“一种半导体的激光打标装置”的专利，授...