超硅半导体取得硅片定位装置专利,提高硅片掏片的准确率
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2025-08-06 15:40:04
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金融界2025年8月6日消息,国家知识产权局信息显示,上海超硅半导体股份有限公司、重庆超硅半导体有限公司取得一项名为“一种硅片定位装置”的专利,授权公告号CN223193792U,申请日期为2024年10月。

专利摘要显示,本实用新型属于硅片加工技术领域,公开了一种硅片定位装置。该硅片定位装置包括载盘和定位组件,载盘设置于加工工位,载盘中心设置有圆形通孔,圆形通孔用于容纳12英寸的硅片;定位组件设于圆形通孔的周侧,包括卡销和弹性件,卡销前端部包括呈夹角设置的第一抵接面和第二抵接面,用于与硅片的V形凹槽嵌合,弹性件设于卡销后端部,以带动卡销沿径向移动,从而固定或释放硅片。通过在加工工位设置载盘,将硅片置于圆形通孔内即可对硅片准确定位,避免硅片放置偏移而造成掏片失败;使用卡销与硅片上的V形凹槽啮合,以卡销定位硅片的晶向,提高了硅片掏片的准确率。

天眼查资料显示,上海超硅半导体股份有限公司,成立于2008年,位于上海市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本117640.3602万人民币。通过天眼查大数据分析,上海超硅半导体股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目24次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息238条,此外企业还拥有行政许可192个。

重庆超硅半导体有限公司,成立于2014年,位于重庆市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200000万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆超硅半导体有限公司参与招投标项目21次,专利信息147条,此外企业还拥有行政许可18个。

来源:金融界

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