新松半导体申请基于多类型传感器协同的AWC校准系统专利，对重复性精度较低的机械手能实现搬运补偿修正位置达到高精度效果
创始人
2025-12-02 12:11:21
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国家知识产权局信息显示，沈阳新松半导体设备有限公司申请一项名为“一种基于多类型传感器协同工作的AWC校准系统”的专利，公开号CN121018520A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本发明提供一种基于多类型传感器协同工作的AWC校准系统，包括在晶圆搬运的各工位之间设置激光传感器、高速图像捕捉传感器，采集触发信号和晶圆图像，通过上位机识别晶圆移动轨迹并输出控制信号给机械手，使其承托晶圆进行轨迹纠偏。本发明通过控制实现对晶圆、机械手的轨迹、以及位置进行多点监控，并通过监控结果的反馈实现补偿、修复运动产生的偏差，并对重复性精度较低的机械手能实现搬运补偿、修正位置达到高精度的效果。
天眼查资料显示，沈阳新松半导体设备有限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳新松半导体设备有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息32条。
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来源：市场资讯
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