新松半导体申请基于高分辨率平行光与激光触发传感器的晶圆AWC校准方法及系统专利，提高晶圆AWC计算结果准确性
创始人
2026-01-12 18:10:21
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国家知识产权局信息显示，沈阳新松半导体设备有限公司申请一项名为“一种基于高分辨率平行光与激光触发传感器的晶圆AWC校准方法及系统”的专利，公开号CN121310931A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开一种基于高分辨率平行光与激光触发传感器的晶圆AWC校准系统，在机械手搬运晶圆通过激光传感器触发锁存实时位置数据时，高分辨率平行光传感器被同时触发，记录当前机械手手臂的坐标，计算机械手当前坐标与基准坐标的偏移量，将偏移补偿到激光传感器触发锁存的位置数据，实现晶圆因为机械手轨迹偏移产生的偏差补偿，提高晶圆AWC计算结果准确性，提高awc的精度，实现更准确的晶圆位置纠偏。
天眼查资料显示，沈阳新松半导体设备有限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳新松半导体设备有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息45条。
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