晶盛机电获得发明专利授权：“监控晶圆抛光的方法和电子设备”
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2025-07-02 03:06:04
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“监控晶圆抛光的方法和电子设备”，专利申请号为CN202510388158.9，授权日为2025年7月1日。
专利摘要：本申请提供一种监控晶圆抛光的方法和电子设备，涉及晶圆抛光检测领域。该方法获取晶圆处于正式抛光加工过程中、抛光设备当前时刻的压力观测值以及上一时刻的压力观测值；根据上一时刻的压力观测值预测当前时刻的第一压力预测值，并根据当前时刻的压力观测值对当前时刻的第一压力预测值进行更新，得到当前时刻的第二压力预测值；当前时刻的目标压力预测值是基于当前时刻的第二压力预测值和上一时刻的目标压力预测值计算得到；基于当前时刻的观测值和当前时刻的目标压力预测值，确定当前时刻的压力偏移，若压力偏移超出了动态区间，控制抛光设备停止运行。该方法能够捕捉压力变化情况，及时预警并采取措施，提高晶圆抛光过程的稳定性。
今年以来晶盛机电新获得专利授权67个，较去年同期减少了12.99%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了11.19亿元，同比减2.29%。
通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目193次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1040条，著作权信息134条；此外企业还拥有行政许可36个。
数据来源：天眼查APP
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