西科沃尔取得光刻机传感器压力波动减缓装置专利，有效衰减已经进入传感器的高频干扰
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2025-07-03 12:09:26
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金融界2025年7月3日消息，国家知识产权局信息显示，无锡西科沃尔科技有限公司取得一项名为“一种光刻机传感器压力波动减缓装置”的专利，授权公告号CN223049310U，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种光刻机传感器压力波动减缓装置，涉及光刻机传感器技术领域，包括：光刻机主体；流场压力检测传感器，所述流场压力检测传感器可拆卸的固定在光刻机主体的底部；液膜，所述流场压力检测传感器向下插入到液膜的内部；膜层，所述膜层包裹在流场压力检测传感器的前段；承接装置，所述承接装置套接在流场压力检测传感器的外侧；夹持装置，所述夹持装置固定在承接装置的内部，并将膜层夹持固定；本实用新型通过膜层的设置包裹在流场压力检测传感器的前段，对流场压力检测传感器起到保护的作用，有效衰减已经进入传感器的高频干扰，增加了流场压力检测传感器的使用寿命。
天眼查资料显示，无锡西科沃尔科技有限公司，成立于2020年，位于无锡市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡西科沃尔科技有限公司财产线索方面有商标信息4条，此外企业还拥有行政许可4个。
来源：金融界
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