路维光电取得横向掩膜版夹具收纳装置专利，确保夹具未携带污染物进机台
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2026-01-28 18:12:26
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国家知识产权局信息显示，成都路维光电有限公司取得一项名为“一种横向掩膜版夹具收纳装置”的专利，授权公告号CN223834493U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，公开了一种横向掩膜版夹具收纳装置，包括框架、空气净化吹淋装置和数个万向轮，所述框架呈长方体框结构，所述框架上设置有数层放置区，所述放置区横向设置，每个所述放置区的入口端均设置有可上下调节的限位插销；所述空气净化吹淋装置设置在所述框架的顶部，所述空气净化吹淋装置的出风口朝向所述框架；所述万向轮分别设置在所述框架的底部四角。本实用新型的有益效果是，在框架的顶部设置空气净化吹淋装置对位于框架上的掩膜版夹具进行吹扫，防止Particle与夹具接触，确保夹具未携带污染物进机台，进而确保产品质量。
天眼查资料显示，成都路维光电有限公司，成立于2017年，位于成都市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本34500万人民币。通过天眼查大数据分析，成都路维光电有限公司参与招投标项目9次，专利信息71条，此外企业还拥有行政许可82个。
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来源：市场资讯
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