海纳半导体申请<110>晶向硅单晶棒参考面加工方法专利,具有提高加工精度和效率的优点
创始人
2026-03-02 15:44:12
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国家知识产权局信息显示,浙江海纳半导体股份有限公司申请一项名为“一种<110>晶向硅单晶棒的参考面加工方法”的专利,公开号CN121572092A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明公开了一种<110>晶向硅单晶棒的参考面加工方法,包括:选取一根已切除头部和尾部的晶体晶向为<110>的硅单晶棒;在晶体晶向为<110>的硅单晶棒尾端将两条棱线进行连接画线,与棱线连接线呈90°角再画一条垂直线;将晶体晶向为<110>的硅单晶棒装到滚圆机上,进行磨削滚圆加工;设置X射线定向仪的射线接收计数管角度为47°20′;将定向后的晶体晶向为<110>位置标记为0°位置,打开旋转定位功能,将晶棒逆时针旋转145.5°。本发明在X射线定向仪接收管角度固定的模式下,利用<110>晶面圆周上分布的4个晶向族、12个具体晶向之间的夹角,并结合旋转定位功能,能够精确快速地加工出<110>晶向硅单晶棒的参考面,避免反复调整设备参数,具有提高加工精度和效率的优点。

天眼查资料显示,浙江海纳半导体股份有限公司,成立于2002年,位于衢州市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本10764.794万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江海纳半导体股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目28次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息70条,此外企业还拥有行政许可49个。

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来源:市场资讯

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