金融界2025年7月7日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“包括偶极子衬里导电线的结构以及相关系统和方法”的专利,公开号CN120261445A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,用于抑制集成电路中的后段制程金属线中的电迁移的方法及相关结构和系统。本公开的结构的实施例包括偶极子衬里,该偶极子衬里包括位于导电线和低k电介质之间的偶极子。
来源:金融界
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