普兴电子申请用于碳化硅外延的外延炉及外延系统专利，有效提升单炉产量
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2026-07-11 23:06:00
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国家知识产权局信息显示，河北普兴电子科技股份有限公司申请一项名为“一种用于碳化硅外延的外延炉及外延系统”的专利，公开号CN122358327A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本发明提供一种用于碳化硅外延的外延炉及外延系统，涉及碳化硅外延技术领域。本发明通过垂直堆叠的多层托盘结构在同等设备占用面积基础上增加单炉产量，实现产能提升，并通过与之匹配的、由侧向水平进气和顶部排气构成的轴向流场系统，既缩短气流路径、减少反应物浓度沿程衰减，又规避了中心转轴对水平气路的遮挡，且利用向上的气流路径降低了颗粒物掉落到衬底表面的概率，在保证外延层高质量均匀性的前提下，有效提升单炉产量。
天眼查资料显示，河北普兴电子科技股份有限公司，成立于2000年，位于石家庄市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本14450万人民币。通过天眼查大数据分析，河北普兴电子科技股份有限公司参与招投标项目267次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息88条，此外企业还拥有行政许可15个。
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来源：市场资讯
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