新米特电子取得晶圆清洗装置专利，提高生产效率
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2026-09-04 22:29:48
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国家知识产权局信息显示，苏州新米特电子科技有限公司取得一项名为“一种晶圆清洗装置”的专利，授权公告号CN224722258U，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种晶圆清洗装置，涉及晶圆清洗的技术领域，包括机台，所述机台的表面开设有清洗槽，所述清洗槽的底壁上转动设置有旋转轴，所述旋转轴的顶端连接有清洗盘，所述机台上设置有旋转组件；所述清洗盘的表面开设吸附槽，所述吸附槽的底壁上开设有若干个吸附孔，所述清洗盘的底壁上设置有真空发生器，所述机台上转动设置有摆臂，所述摆臂的端壁上设置有喷液嘴和喷气嘴，所述喷液嘴与清洗泵相互连接，所述喷气嘴与热风机相互连接，所述机台上设置有摇摆组件，所述清洗槽的底壁开设有排污口。本申请具有集成喷液和喷气功能，减少晶圆转运程序，提高生产效率的优势。
天眼查资料显示，苏州新米特电子科技有限公司，成立于2013年，位于苏州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州新米特电子科技有限公司参与招投标项目1次，专利信息40条，此外企业还拥有行政许可1个。
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