奕斯伟等申请晶圆缺陷检测相关专利降低扫描电子显微镜对晶圆的损伤_电池技术

奕斯伟等申请晶圆缺陷检测相关专利降低扫描电子显微镜对晶圆的损伤

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2025-07-13 02:09:58

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金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请一项名为“晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质及程序产品”的专利，公开号CN120300019A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质及程序产品，该方法包括：采用粒子计数器对晶圆进行多次不同检测精度的缺陷坐标检测，得到多个检测文件；对多个检测文件进行合并，得到一个目标检测文件；目标检测文件中包括不同所述检测精度对应的缺陷坐标；根据目标检测文件通过扫描电子显微镜对晶圆进行扫描，得到目标检测结果，目标检测结果包括每个缺陷的目标坐标及目标尺寸参数。

天眼查资料显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司，成立于2016年，位于西安市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本350000万人民币。通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目3次，专利信息1290条，此外企业还拥有行政许可24个。

西安欣芯材料科技有限公司，成立于2022年，位于西安市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本504400万人民币。通过天眼查大数据分析，西安欣芯材料科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目153次，专利信息120条，此外企业还拥有行政许可21个。

来源：金融界

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