朋熙半导体申请半导体设备配方自动调整专利，快速确定配方调整参数
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2025-07-14 14:38:44
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金融界2025年7月14日消息，国家知识产权局信息显示，上海朋熙半导体有限公司申请一项名为“一种半导体设备的配方自动调整方法、系统及设备”的专利，公开号CN120295230A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本申请实施例涉及半导体技术领域，公开了一种半导体设备的配方自动调整方法、系统及设备，所述方法包括：获取组合数据，其中，所述组合数据包括产品数据以及工艺流程数据；将所述组合数据代入训练好的自动调整模型中，得到配方调整方案，其中，所述配方调整方案至少包括预估调整的配方策略、调整执行的时间点以及配方策略的调整类型；将所述配方调整方案下载至机台端，并控制机台端执行所述配方调整方案。通过本申请的方案，可以至少解决现有技术需要专业的工程师根据机台的实际机况对配方进行调节，无法做到实时调整，调整效率过低的技术问题。本申请能够快速确定配方调整参数，提高生产效率，减少人为操作失误，进而提高产品良率。
天眼查资料显示，上海朋熙半导体有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海朋熙半导体有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息103条，此外企业还拥有行政许可5个。
来源：金融界
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