格科半导体申请晶圆清洗装置专利,有助于在晶圆未完全浸入时及时采取一定应对手段
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2025-07-14 18:11:09
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金融界2025年7月14日消息,国家知识产权局信息显示,格科半导体(上海)有限公司申请一项名为“晶圆清洗装置”的专利,公开号CN120300027A,申请日期为2025年04月。

专利摘要显示,本申请提供一种晶圆清洗装置,所述晶圆清洗装置包括:存储罐,所述存储罐具有腔体,所述腔体用于容纳清洗液,所述清洗液用于对放入其内的晶圆进行清洗;距离探测器,位于所述腔体内,可随所述清洗液的液面浮动,用于探测与液面上方最近的物体的距离。

天眼查资料显示,格科半导体(上海)有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本450000万人民币。通过天眼查大数据分析,格科半导体(上海)有限公司参与招投标项目21次,专利信息108条,此外企业还拥有行政许可88个。

来源:金融界

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