南亚科技申请半导体装置及其制造方法专利，可防止击穿气隙
创始人
2025-08-01 13:14:01
0次
金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，南亚科技股份有限公司申请一项名为“半导体装置及其制造方法”的专利，公开号CN120417375A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，一种半导体装置的制造方法包括在基板上形成位元线结构，沿着位元线结构的侧壁形成间隔物，其中每个间隔物包括气隙(air gap)。方法进一步包括在位元线结构之间和上方形成导电结构，其中导电结构暴露部分位元线结构。方法进一步包括在导电结构和位元线结构之间形成隔离结构，隔离结构经植入以形成植入隔离结构，在植入隔离结构和导电结构上方形成支撑层，以及在导电结构和植入隔离结构上方形成电容结构。植入隔离结构具有较高的蚀刻抗性，当电容结构的形成对不准时，可防止击穿气隙。此外，电容结构中的底部电极层的底表面的宽度可放大，使得改善电容结构和导电结构之间的接触电阻。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
湖北省委书记王忠林：严查贪污侵...
据“湖北发布”消息，8月1日上午，湖北召开全省集中整治群众身边不正之风和腐败问题工作推进会。湖北省委...
龙芯中科获得发明专利授权：“中...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示龙芯中科（688047）新获得一项发明专利授权，专利名为“中断...
隆盛科技获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示隆盛科技（300680）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
阳光电源获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示阳光电源（300274）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
阳光电源获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示阳光电源（300274）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
深南电路获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示深南电路（002916）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
拓普集团获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓普集团（601689）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
日月光半导体上涨5.89%，报...
8月1日，日月光半导体(ASX)开盘上涨5.89%，截至21:30，报10.06美元/股，成交180...
吴川市全力护航电子商务行业协会...
近日，吴川市电子商务行业协会第一届第一次会员大会暨第一届理事会、监事会就职典礼举行，标志着吴川市电子...
报告：今年上半年中国电子竞技产...
中新网8月1日电(记者 宋宇晟)记者获悉，8月1日，中国音像与数字出版协会第一副理事长张毅君在202...