国家知识产权局信息显示,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司取得一项名为“一种进气过渡管及炉管机台”的专利,授权公告号CN 223596524 U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本申请涉及一种进气过渡管及炉管机台,所述进气过渡管包括:管体,所述管体用于输送气液混合物;第一分割部件所述第一分割部件在所述管体内沿所述管体延伸,所述第一分割部件由多孔材质构成;所述第一分割部件用于分割通入所述管体第一端的气液混合物中的液滴,经分割后的所述气液混合物通过所述管体的第二端排出。本申请具有对气液混合物中的大颗粒液滴进行分割,减少半导体制品出现的球状缺陷的效果。
天眼查资料显示,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司,成立于2021年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目19次,财产线索方面有商标信息50条,专利信息75条,此外企业还拥有行政许可215个。
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