国仪量子申请电子探测装置和扫描电镜专利，可提高二次电子的收集效率
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2026-01-10 21:08:44
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国家知识产权局信息显示，国仪量子技术（合肥）股份有限公司申请一项名为“电子探测装置和扫描电镜”的专利，公开号CN121306881A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种电子探测装置和扫描电镜，涉及扫描电镜技术领域。装置包括：物镜，包括用于形成磁透镜的第一线圈和用于形成浸没磁场的第二线圈，第一线圈和第二线圈分别由第一极靴和第二极靴非闭合包裹，第一极靴具有轴向通道部，第二极靴具有锥形延伸部，锥形延伸部的底部设置有光阑孔；检测器，设置在轴向通道部或锥形延伸部，且位于光阑孔上方；第一控制电极，设置在光阑孔内侧，用于产生电场，以与第二线圈产生的浸没磁场协同作用，引导或阻止二次电子到达检测器。该电子探测装置，通过第一控制电极的设置，可将二次电子引导至检测器，从而可提高二次电子的收集效率，还可阻止二次电子到达检测器，以便于检测器收集背散射电子。
天眼查资料显示，国仪量子技术（合肥）股份有限公司，成立于2016年，位于合肥市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本36000万人民币。通过天眼查大数据分析，国仪量子技术（合肥）股份有限公司共对外投资了14家企业，参与招投标项目717次，财产线索方面有商标信息87条，专利信息498条，此外企业还拥有行政许可9个。
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