上海微釜半导体申请立式炉晶圆边缘缺陷在线检测系统专利，显著提升检测效率
创始人
2026-02-19 00:12:29
0次
国家知识产权局信息显示，上海微釜半导体设备有限公司申请一项名为“立式炉、晶圆边缘缺陷在线检测系统及其检测方法”的专利，公开号CN121548283A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明提供了一种立式炉、晶圆边缘缺陷在线检测系统及其检测方法，在线检测系统包括第一线扫描相机、晶圆传送机器人、位置调节组件和控制模块，晶圆传送机器人用于同时夹取多片晶圆，并驱动各夹持机构控制多片晶圆在轴向上错位布置及保持旋转；位置调节组件包括驱动机构及第一导向轨道；控制模块用于控制驱动机构驱动第一线扫描相机沿第一导向轨道依次移动至与各晶圆的边缘区域对应的检测工位，以对旋转的晶圆的边缘区域进行沿周向的连续扫描，并根据获得的第一圆周扫描图像判断各晶圆的边缘区域是否存在缺陷。本申请实现了高效批量在线检测，显著提升了检测效率，保证了在实现在线检测的同时不会影响晶圆的传输效率。
天眼查资料显示，上海微釜半导体设备有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1147.0837万人民币。通过天眼查大数据分析，上海微釜半导体设备有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息22条，此外企业还拥有行政许可3个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
DCDC 电源拓扑详解，硬件电...
做硬件设计，电源是绕不开的话题。不管你画什么板子，总得给芯片供电。很多人会用DCDC芯片，照着参考电...
绿电领跑全省 辽宁新能源装机规...
来源：央视新闻 辽宁目前火电装机容量接近4200万千瓦，4月20日，随着铁岭昌图润航50万千瓦项目的...
ABB申请极柱部件专利，用于测...
国家知识产权局信息显示，ABB瑞士股份有限公司申请一项名为“极柱部件”的专利，公开号CN121831...
超导概念板块4月20日涨3.0...
证券之星消息，4月20日超导概念板块较上一交易日上涨3.04%，中天科技领涨。当日上证指数报收于40...
三星LG联手攻坚CPO！半导体...
据ETNews，三星电机和LG Innotek已启动合作，开始评估在半导体基板上实现CPO所需的原型...
从华强北柜台到千亿存储帝国：蔡...
文｜投资者网 2026年4月14日，深圳股市迎来了一个历史性时刻——国内存储芯片三大龙头江波龙、佰...
为智慧影像而生：华为Pura ...
IT之家 4 月 20 日消息，华为 Pura 系列及全场景新品发布会正在进行中。华为常务董事、产品...
AI芯片流片与先进封装共振，驱...
截至2026年4月20日收盘，上证科创板芯片指数(000685)强势上涨1.60%，成分股沪硅产业上...
浙江瑞坦数字能源申请具有测温功...
国家知识产权局信息显示，浙江瑞坦数字能源有限公司申请一项名为“一种具有测温功能的电的开关”的专利，公...
示波器厂家选型指南：适配电子制...
示波器作为电子测量领域的关键工具，广泛应用于电子制造、科研、高校等多个领域。在选择示波器相关产品和服...