邦芯半导体申请具有自清洁功能的控压蝶阀专利，可快速清除附着于阀板表面的副产物
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2026-02-28 15:14:48
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国家知识产权局信息显示，上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种具有自清洁功能的控压蝶阀及等离子体处理设备”的专利，公开号CN121576426A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种具有自清洁功能的控压蝶阀及等离子体处理设备，包括阀门壳体、阀板、磁场生成件、副产物检测件和控制件；阀板转动设于阀门壳体的内腔且采用金属材质制成，阀门壳体采用绝缘材质制成，阀板的周向外壁与阀门壳体的内侧壁之间具有可调节蝶阀开度的间隙，磁场生成件设于阀门壳体的内侧壁上，磁场生成件与交变电源连接且在通入交变电流时产生磁感线穿过阀板的交变磁场；副产物检测件的检测端朝向阀板；控制件与副产物检测件和磁场生成件连接；本发明利用电磁感应原理，由磁场生成件产生交变磁场使阀板内部直接产生涡流而自发热，能量效率高，可快速清除附着于阀板表面的副产物。
天眼查资料显示，上海邦芯半导体科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析，上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目17次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息228条，此外企业还拥有行政许可2个。
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来源：市场资讯
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