北方华创申请工艺腔室及半导体工艺设备专利，保证晶圆的一致性_电池问答

北方华创申请工艺腔室及半导体工艺设备专利，保证晶圆的一致性

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2026-03-26 16:34:02

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121718841A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明提供一种工艺腔室及半导体工艺设备，工艺腔室包括：腔室本体，其顶部具有进气孔，进气孔用于向腔室本体内部输出工艺气体；第一转盘，绕第一轴线可转动地设置在腔室本体内，并位于进气孔的下方，进气孔的轴线方向与第一轴线平行；第二转盘，用于承载晶圆，第二转盘绕第二轴线可转动地设置在第一转盘上；排气管，其轴线与第一轴线重合，排气管具有与腔室本体内部连通的排气孔，工艺气体通过排气孔排出腔室本体。本发明的工艺腔室通过在腔室本体顶部沿第一轴线方向设置进气孔，并通过排气管排气，可以保证工艺气体在到达第一转盘时，在第一转盘的内侧和外侧的扩散情况是一致的，因此，扩散均匀程度也是一致的，保证了晶圆的一致性。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1391次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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