敏芯微电子申请MEMS传感器气密性检测专利，显著提高检测效率
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2026-03-31 13:16:02
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国家知识产权局信息显示，苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请一项名为“一种MEMS传感器、晶圆、检测系统及检测方法”的专利，公开号CN121735197A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种MEMS传感器、晶圆、检测系统及检测方法，其中，MEMS传感器包括衬底、盖体、MEMS敏感结构和气密性检测结构。衬底包括工作区和气密性检测区。盖体与衬底围合成容置腔；MEMS敏感结构位于工作区；气密性检测结构包括第一导电结构和第二导电结构，且第一导电结构和第二导电结构均自容置腔内延伸至容置腔外，且位于气密性检测区上的第一导电结构和第二导电结构之间具有第一间距，第一间距小于预设值。本申请能够在晶圆级封装完成后立即开展气密性检测，并同时可对晶圆上的多个MEMS传感器进行并行检测，从而能够显著提高检测效率，避免了现有技术中检测滞后、无法全覆盖以及人为误差等问题。
天眼查资料显示，苏州敏芯微电子技术股份有限公司，成立于2007年，位于苏州市，是一家以从事水利管理业为主的企业。企业注册资本5602.3107万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目26次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息508条，此外企业还拥有行政许可16个。
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来源：市场资讯
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