5月18日，“成都经开产学研用科技创新基地——半导体核心生产装备和先进工艺创新平台”在成都经开汽车科技园正式落成。作为该创新平台的核心依托项目，四川远为芯途半导体科技有限公司（简称“远为芯途”）投资建设的“西南湿法设备研产基地”同步启航。

据了解，此次建成投运的远为芯途研产基地建筑面积近10000平方米，配备百级、千级、万级洁净车间，聚焦电镀、清洗、涂胶等湿法制程全流程，具备年产200台（套）高端半导体设备的生产能力，是当前西南地区规模较大的湿制程先进装备研发制造基地。

远为芯途总经理管选伟介绍，“西南湿法设备研产基地的正式启航，标志着西南地区在半导体湿法工艺这一关键环节补齐了重要拼图。基地以打造西南地区一流的湿法工艺设备研发制造高地为目标，依托成都密集的高校资源与电子信息产业基础，构建‘产学研用’完整闭环，助力半导体产业链的‘补链、强链’工作，推动区域内半导体产业的自主化发展。”

远为芯途于2024年作为重点引进项目落户成都市龙泉驿区经开区，依托江苏南通远景智能装备的产业基础，集研发、设计、制造、销售及服务于一体，构建起立足成都、辐射西南、面向全国的产业布局。公司选择成都，看中的正是当地密集的高校资源、雄厚的电子信息产业基础，以及精准政策支持与产业集聚效应。

在全球半导体设备市场进入“AI驱动的超级周期”背景下，中国稳居全球第一大半导体设备市场。远为芯途选择深耕湿法工艺设备这一国产化率仍有较大提升空间的赛道，以突破关键核心技术壁垒、填补国内高端湿法装备空白。随着研产基地的启航，远为芯途已从技术研发稳步迈入规模化落地生产阶段。

管选伟透露，下一步公司将继续加大研发投入、加快技术攻坚，以行业高标准打磨生产体系，以严苛规范筑牢质量防线。同时，深化“产学研用”闭环，与产业链上下游伙伴携手共进，持续为客户提供更优质的产品、更专业的服务、更全面的解决方案，助力半导体产业链的自主可控与安全稳定。

此次创新平台的落成，是成都经开区（龙泉驿区）推动产业转型、抢占新质生产力赛道的标志性成果。业界认为，在政府与企业的合力推动下，远为芯途立足西南、辐射全国的布局，有望成为高端湿法设备国产化的重要支点，为半导体装备国产替代持续贡献“成都力量”。

记者 刘泰山 编辑 史童