北方华创申请半导体工艺腔室及半导体工艺设备专利，解决承载舟易变形导致硅片易损坏问题
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2025-07-08 22:10:08
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金融界2025年7月8日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120272885A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本申请公开一种半导体工艺腔室及半导体工艺设备，所公开的半导体工艺腔室包括腔室本体、多个舟承载架和多个电极组；腔室本体具有内腔，多个舟承载架在承载方向上间隔且相对地设于内腔中，多个舟承载架分别用于支撑多个承载舟，多个电极组用于一一对应地与多个承载舟相连，每个电极组的两个电极端中的一者用于实现相应的承载舟与射频组件的正极之间的电连接，每个电极组的两个电极端中的另一者用于实现相应的承载舟与射频组件的负极之间的电连接。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1081次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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