华矽半导体申请一种晶圆预对准方法和系统专利，降低晶圆翘曲变形对预对准的干扰
创始人
2025-07-13 00:10:18
0次
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，广东华矽半导体设备有限公司申请一项名为“一种晶圆预对准方法和系统”的专利，公开号CN120300048A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明涉及一种晶圆预对准方法和系统，其中，晶圆预对准方法，包括以下步骤：步骤S1：对预对准平台上晶圆的边缘进行采样，以获取所述晶圆的边缘上各处的坐标；步骤S2：根据所述晶圆的边缘上各处的坐标，获取所述晶圆的边缘上各处的曲率K；步骤S3：根据所述晶圆边缘上各处的曲率K对所述晶圆的边缘上的各处坐标进行分类，以分别得到所述晶圆的弧形边缘数据集和缺口边缘数据集；步骤S4：根据所述弧形边缘数据集，拟合所述晶圆的圆心坐标；并根据所述缺口边缘数据集，拟合所述晶圆的缺口位置；步骤S5：基于所述晶圆的圆心坐标及缺口位置进行预对准。
天眼查资料显示，广东华矽半导体设备有限公司，成立于2022年，位于东莞市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1654.4117万人民币。通过天眼查大数据分析，广东华矽半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息4条，专利信息33条，此外企业还拥有行政许可6个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
新雷能获得实用新型专利授权：“...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示新雷能（300593）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一...
广汽集团获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示广汽集团（601238）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
长安汽车获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示长安汽车（000625）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
聚飞光电获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示聚飞光电（300303）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
龙腾光电获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示龙腾光电（688055）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
世昌股份获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示世昌股份（920022）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
信音电子获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示信音电子（301329）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
格力电器获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示格力电器（000651）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
阳光电源：近期碳酸锂价格回落后...
人民财讯7月15日电，阳光电源今日接受机构调研时表示，储能业务会受碳酸锂价格波动的影响。之前碳酸锂价...
*ST特迅：电源产品已在多个数...
证券之星消息，*ST特迅(002227)07月16日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者...