南通铧越半导体申请用于半导体湿法设备的排气过滤装置及其工作方法专利，提高废气吸收效率
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2025-12-03 18:08:47
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国家知识产权局信息显示，南通铧越半导体科技有限公司申请一项名为“用于半导体湿法设备的排气过滤装置及其工作方法”的专利，公开号CN121054529A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明适用于半导体湿法排气技术领域，提供了用于半导体湿法设备的排气过滤装置及其工作方法，包括排气单元和防溅射单元；排气单元包括排气管、短板、长板、自动伸缩杆、调节件、抽气管，鼓风机；防溅射单元包括折叠罩、升降气缸，连接板；通过抽气管和排气管可将四周产生的废气排出，避免了现有的排气系统是安装在清洗设备的上方或侧面，废气是需要漂浮到一定的高度和范围才能被现有的排气设备吸收排出，位于中部的化学反应箱与半导体产生的废气是不能及时被发现并排出，导致废气中的污染物可能会沉积在半导体表面，形成颗粒或残留物的问题，从而提高了废气吸收的效率，进而提高了半导体的生产质量，有利于后续工艺的进行。
天眼查资料显示，南通铧越半导体科技有限公司，成立于2023年，位于南通市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，南通铧越半导体科技有限公司专利信息3条。
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来源：市场资讯
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