强一半导体申请用于厚光刻胶的动态组合显影方法及系统专利,实现厚光刻胶图形的高质量、无缺陷显影
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2026-07-11 23:23:53
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国家知识产权局信息显示,强一半导体(苏州)股份有限公司申请一项名为“用于厚光刻胶的动态组合显影方法及系统、装置、介质”的专利,公开号CN122362760A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,一种用于厚光刻胶的动态组合显影方法及系统、装置、介质,所述动态组合显影方法包含:S100、持续出液的主显影阶段;S200、静置显影与底层修饰显影阶段;S300、短时间高速甩干阶段;S400、循环阶段;S500、清洗与干燥阶段;所述动态组合显影系统包括:显影腔体、温度控制单元、显影载台、显影液供给单元、控制处理器。本发明通过不同显影方式与显影系统的有机结合,分阶段、精细化地控制显影过程,从而实现厚光刻胶图形的高质量、无缺陷显影,使得动态组合显影方法的实施更加集成化,通过控制处理器及程序的设计,可以灵活适配不同厚度、不同图形密度的厚光刻胶工艺配方,具备良好的全自动产业化应用场景。

天眼查资料显示,强一半导体(苏州)股份有限公司,成立于2015年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本12955.93万人民币。通过天眼查大数据分析,强一半导体(苏州)股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目54次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息374条,此外企业还拥有行政许可20个。

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来源:市场资讯

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