中微半导体取得一种供气系统及半导体处理装置专利，提高了吹扫气体的吹扫效率
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2026-07-16 00:56:53
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国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司取得一项名为“一种供气系统及半导体处理装置”的专利，授权公告号CN224494325U，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种供气系统及半导体处理装置，所述供气系统包括前驱体供应管路，其包括进气端和出气端，所述出气端与半导体处理装置连接；所述进气端的上游并联设置有第一气体支路和第二气体支路；第一气体支路设有串联连接的第一质量流量控制器和第一气体阀门，用于通入载体气体或第一吹扫气体；第二气体支路设有串联连接的第二质量流量控制器、第二储气罐和第二气体阀门，用于通入第二吹扫气体，且第二质量流量控制器的量程大于第一质量流量控制器的量程。本实用新型提高了吹扫气体的吹扫效率，同时不影响对反应气体的精确控制。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目89次，财产线索方面有商标信息85条，专利信息1735条，此外企业还拥有行政许可88个。
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来源：市场资讯
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