芯联集成申请半导体结构及其形成方法专利,从根本上解决了漏电问题
创始人
2026-01-24 19:10:38
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国家知识产权局信息显示,芯联集成电路制造股份有限公司申请一项名为“一种半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN121398069A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明提供一种半导体结构及其形成方法,半导体结构包括半导体衬底,半导体衬底具有第一区域,在半导体衬底上设置有第一CESL层,在第一区域的第一CESL层上设置有第二CESL层,在第一CESL层和第二CESL层上形成有层间介质层,第一区域设置有接触孔,接触孔贯通第二CESL层和第一CESL层,接触孔两侧均保留有所述第二CESL层。本发明通过设置双层的CESL层,第二CESL层围设在接触孔的侧壁上,使得电极间实现物理隔断,相邻两个电极之间的氮硅材料层被移除,仅在每个电极附近保留,使得第二CESL层在相邻两电极之间存在不连续型,从而使得电极间被氮硅材料层物理隔断,因此无电流导通路径,从根本上解决了漏电问题。

天眼查资料显示,芯联集成电路制造股份有限公司,成立于2018年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本838268.7172万人民币。通过天眼查大数据分析,芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业,参与招投标项目1734次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息789条,此外企业还拥有行政许可43个。

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来源:市场资讯

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