复旦微电子申请存储器结构及其形成方法专利,能够有效降低电阻
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2026-03-11 15:12:53
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国家知识产权局信息显示,上海复旦微电子集团股份有限公司申请一项名为“存储器结构及其形成方法”的专利,公开号CN121645882A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,一种存储器结构及其形成方法,其中结构包括:衬底;位于所述衬底上的若干隔离层和若干字线栅层,所述隔离层和所述字线栅层依次交替堆叠,所述字线栅层位于相邻的所述隔离层之间;位于所述隔离层和所述字线栅层侧壁的电荷俘获层;位于所述电荷俘获层侧壁的沟道层,其中位于所述隔离层侧壁的所述沟道层包括金属化合物层。位于所述隔离层侧壁的所述沟道层包括金属化合物层,能够有效降低电阻,且在更高存储器结构层数堆叠的节点上,具有所述金属硅化物层的所述沟道层会有更大的优势,对于器件性能上的提升更为明显。

天眼查资料显示,上海复旦微电子集团股份有限公司,成立于1998年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本8214.273万人民币。通过天眼查大数据分析,上海复旦微电子集团股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目327次,财产线索方面有商标信息34条,专利信息421条,此外企业还拥有行政许可28个。

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