国家知识产权局信息显示,台亚半导体股份有限公司申请一项名为“半导体结构及其制造方法”的专利,公开号CN121751674A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体结构及其制造方法,其中半导体结构包含一硅基板、一氮化物缓冲复合层、一主动层及一硅阻挡复合层。氮化物缓冲复合层设置于硅基板上方,主动层设置于氮化物缓冲复合层上方,硅阻挡复合层夹置于氮化物缓冲复合层中,实质阻挡来自硅基板的一硅杂质扩散以降低漏电流。
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